各行業(yè)的無塵車間要求都各不相同,電子行業(yè)無塵車間的特點是車間大,布局多變。因為電子行業(yè)的技術更新快,如果工藝變了,那平面布局就要跟著變,因此布局上不宜有很多固定的分隔。
1.平面布局是由工藝決定,電子工業(yè)無塵車間的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
2.由于生產(chǎn)工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫、濕度控制的要求相對較高,如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數(shù)為40%(精度±2~±5℃);正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。
3.電子行業(yè)無塵車間的冷負荷比其他行業(yè)無塵車間大得多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見,由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點。
4.應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
5.電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程中產(chǎn)生有毒有害氣體,種類繁多且量大,所以需要的排風量和新風量也很大。新排風的節(jié)能措施是行業(yè)特點之一,排放前要做處理,使排風負荷環(huán)保要求。
6.電子行業(yè)無塵車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料;要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除;生產(chǎn)工藝也有抗微振的要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源。
7.電子行業(yè)無塵車間允許設置風淋室。風淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人風淋室一般按最大班人數(shù)為30人設計,當人數(shù)太多或為了縮短通過時間,也可設置雙人風淋室或風淋通道。同時也需要配置潔凈棚、FFU凈化單元、高效過濾器、高效送風口、傳遞窗,如不配這些設備你的要求是不達標準的。
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